D41-11B/ZM型微控四探针测试仪
仪器名称: D41-11B/ZM型微控四探针测试仪
仪器类型: 测试设备
应用领域: 1、测量硅单晶的体电阻率。2、测量掺杂半导体,如扩散层及异型外延层电阻。3、测量金属层电阻。
技术指标:
1、测量范围:①电阻率ρ:6×10-3 ~5×104Ω•cm;②方块电阻Rs/□:10-1~9×105Ω/□;③电阻R:3×10-2~2×105Ω。2、精度:±5%。3、样片台直径:180mm。
仪器品牌: 七星华创
仪器型号:
仪器厂家: 中国
仪器设备所属平台: 厦门大学萨本栋微米纳米科学技术研究院 微电子/石墨烯加工测试平台