SCG 高低温真空探针台
仪器名称： SCG 高低温真空探针台
仪器类型： 测试设备
应用领域： 能够实现样品在低温真空环境的测试，实现样品在10-4 PA 真空度，4.2K 到480K 任意温度点的精确电学测量。
技术指标：
1、六个探针臂接口，可以安装六个探针臂。2、一个CF40 真空抽气口，一个快速破真空进气口。3、载物Chuck 温度范围：4K-500K ；CF法兰接口，系统极限真空优于5*10-6Pa。4、漏率优于：1.3*10-10Pa.M3/s；探针X-Y-Z三方向移动，行程：25.4mm，定位精度：10μm。5、双屏蔽chuck高低温时达到100FA 的测试精度。
仪器品牌： SCG
仪器型号： SCG-0
仪器厂家： 香港 SEMI SHARE
仪器设备所属平台： 厦门大学萨本栋微米纳米科学技术研究院 微电子/石墨烯加工测试平台
