OLS1200激光共聚焦扫描显微镜
仪器名称： OLS1200激光共聚焦扫描显微镜
仪器类型： 测试设备
应用领域： 各种元器件的结构和图形的二维表面和三维形貌测量。
技术指标：
1、2D测量，最适合于1.5mm～1μm范围的测量，不仅是线宽度，也能进行圆的直径等几何测量。2、3D测量，最适合于1mm～0.5μm的高度测量，并能提供真实精确的3D效果图片。体积/容积、表面积等3D测量。3、高分辨率观察，实时观察，可以分辨0.15μm的线和点。4、最大观察范围是3620×3620μm。
仪器品牌： 奥林巴斯
仪器型号： OLS 1200-FAR2
仪器厂家： OLYMPUS
仪器设备所属平台： 厦门大学萨本栋微米纳米科学技术研究院 微电子/石墨烯加工测试平台
