仪器名称： OAI光刻机

仪器类型： 光刻&键合设备

应用领域： 单面对准曝光。

技术指标：

掩模版适用尺寸：五英寸；基片尺寸：4英寸及以下不规则形状基片；汞灯功率：350W；分辨率：2μm。

仪器品牌： OAI

仪器型号： OAI MOde1 204

仪器厂家： 美国

仪器设备所属平台： 厦门大学萨本栋微米纳米科学技术研究院 微电子/石墨烯加工测试平台

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