L4514程控扩散炉-2
仪器名称： L4514程控扩散炉-2
仪器类型： CVD设备
应用领域： 供2英寸硅片退火及硼扩散等工艺使用。
技术指标：
最高温度：1150℃；
恒温区长度：350mm；
最大可控升温速度（400℃～ 1150℃）：15℃/min;
最大降温速度（1150℃～ 900℃）：5℃/min。
仪器品牌： 青岛旭光
仪器型号： L4514-90
仪器厂家： 青岛旭光仪表设备有限公司
仪器设备所属平台： 厦门大学萨本栋微米纳米科学技术研究院 微电子/石墨烯加工测试平台
