鹭创汇

  1. 首页
  2. 科技服务
  3. 微电子/石墨烯材料及器件加工测试平台
  4. 内容页

Q150 等离子体去胶机 


仪器名称: Q150 等离子体去胶机 

仪器类型: 光刻&键合设备

应用领域: 可以基片表面活化,可去除不同厚度的光刻胶。

技术指标:

主腔室材料:石英;主腔室容积:6升;主腔室尺寸:直径150mm,深度260mm;工艺压力:1-100Pa;样品大小≤4英寸。

仪器品牌: Alpha

仪器型号: Q150 

仪器厂家: Alpha Plasma 

仪器设备所属平台: 厦门大学萨本栋微米纳米科学技术研究院 微电子/石墨烯加工测试平台


联系预约
鹭创汇平台运营单位: 厦门软件产业投资发展有限公司
友情链接: 厦门火炬高技术产业开发区 厦门创新创业园 唯你网 云沃客 疯狂BP
Copyright © 2017 鹭创汇平台版权所有 未经许可 请勿转载 备案号:闽B2-20040129号