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L4514程控扩散炉-1


仪器名称: L4514程控扩散炉-1

仪器类型: CVD设备

应用领域: 供2英寸硅片氧化、退火等工艺使用。

技术指标:

最高温度:1150℃;
恒温区长度:350mm;
最大可控升温速度(400℃~ 1150℃):15℃/min;
最大降温速度(1150℃~ 900℃):5℃/min。

仪器品牌: 青岛旭光

仪器型号: L4514-90

仪器厂家: 青岛旭光仪表设备有限公司

仪器设备所属平台: 厦门大学萨本栋微米纳米科学技术研究院 微电子/石墨烯加工测试平台


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