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D41-11B/ZM型微控四探针测试仪


仪器名称: D41-11B/ZM型微控四探针测试仪

仪器类型: 测试设备

应用领域: 1、测量硅单晶的体电阻率。2、测量掺杂半导体,如扩散层及异型外延层电阻。3、测量金属层电阻。

技术指标:

1、测量范围:①电阻率ρ:6×10-3 ~5×104Ω•cm;②方块电阻Rs/□:10-1~9×105Ω/□;③电阻R:3×10-2~2×105Ω。2、精度:±5%。3、样片台直径:180mm。

仪器品牌: 七星华创

仪器型号:

仪器厂家: 中国

仪器设备所属平台: 厦门大学萨本栋微米纳米科学技术研究院 微电子/石墨烯加工测试平台


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