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SCG 高低温真空探针台


仪器名称: SCG 高低温真空探针台

仪器类型: 测试设备

应用领域: 能够实现样品在低温真空环境的测试,实现样品在10-4 PA 真空度,4.2K 到480K 任意温度点的精确电学测量。

技术指标:

1、六个探针臂接口,可以安装六个探针臂。2、一个CF40 真空抽气口,一个快速破真空进气口。3、载物Chuck 温度范围:4K-500K ;CF法兰接口,系统极限真空优于5*10-6Pa。4、漏率优于:1.3*10-10Pa.M3/s;探针X-Y-Z三方向移动,行程:25.4mm,定位精度:10μm。5、双屏蔽chuck高低温时达到100FA 的测试精度。

仪器品牌: SCG

仪器型号: SCG-0 

仪器厂家: 香港 SEMI SHARE

仪器设备所属平台: 厦门大学萨本栋微米纳米科学技术研究院 微电子/石墨烯加工测试平台


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