鹭创汇

  1. 首页
  2. 科技服务
  3. 微电子/石墨烯材料及器件加工测试平台
  4. 内容页

FD-150横向减薄机


仪器名称: FD-150横向减薄机

仪器类型: 封装设备

应用领域: 用于兼容4寸、6寸硅片等样片的自动减薄, 磨削阻力小、磨削均匀。

技术指标:

用于兼容4寸、6寸硅片等样片的自动减薄,样片由真空吸附与磨轮作相反方向旋转运动,磨轮前后摆动。该方法磨削阻力小、磨削均匀、生产效率高,控制精度1μm,重复定位精度3μm,工件进给速率(可调): 1μm -5mm/min;同时横向减薄机设备可自动对刀、实际检测磨削扭力、自动调节样片磨削速度,从而防止样片磨削过程中因应力过大产生变形及破损,并可自动补偿砂轮磨损厚度尺寸。

仪器品牌:

仪器型号: FD-150

仪器厂家: 厦门伟达信生物科技有限公司

仪器设备所属平台: 厦门大学萨本栋微米纳米科学技术研究院 微电子/石墨烯加工测试平台


联系预约
鹭创汇平台运营单位: 厦门软件产业投资发展有限公司
友情链接: 厦门火炬高技术产业开发区 厦门创新创业园 唯你网 云沃客 疯狂BP
Copyright © 2017 厦门软件产业投资发展有限公司 版权所有 未经许可 请勿转载 备案号:闽B2-20040129号