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OLS1200激光共聚焦扫描显微镜 


仪器名称: OLS1200激光共聚焦扫描显微镜 

仪器类型: 测试设备

应用领域: 各种元器件的结构和图形的二维表面和三维形貌测量。

技术指标:

1、2D测量,最适合于1.5mm~1μm范围的测量,不仅是线宽度,也能进行圆的直径等几何测量。2、3D测量,最适合于1mm~0.5μm的高度测量,并能提供真实精确的3D效果图片。体积/容积、表面积等3D测量。3、高分辨率观察,实时观察,可以分辨0.15μm的线和点。4、最大观察范围是3620×3620μm。

仪器品牌: 奥林巴斯

仪器型号: OLS 1200-FAR2 

仪器厂家: OLYMPUS

仪器设备所属平台: 厦门大学萨本栋微米纳米科学技术研究院 微电子/石墨烯加工测试平台


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