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MA6光刻机


仪器名称: MA6光刻机

仪器类型: 光刻&键合设备

应用领域: 将芯片制作所需要的线路与功能区图形从掩膜板复制到样品上。光刻机发出的光通过具有图形的掩膜版对涂有光刻胶的样片曝光,利用感光后的光刻胶在溶液中的溶解速度不同实现图形的复制。

技术指标:

1、宽带光源365,紫外接近,接触式光刻,可实现双面对准。2、最大曝光面积φ100mm。分辨率:1μm。套刻精度:±1μm。2、样品大小:≤4英寸,厚度小于3mm。3、光刻板尺寸:4寸样片5寸版,3寸以下样片4寸或5寸版。

仪器品牌: SUSS

仪器型号: MA6BA6 

仪器厂家: 休斯微技术股份公司

仪器设备所属平台: 厦门大学萨本栋微米纳米科学技术研究院 微电子/石墨烯加工测试平台


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