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Explorer-14 磁控溅射镀膜系统


仪器名称: Explorer-14 磁控溅射镀膜系统

仪器类型: 镀膜设备

应用领域: 主要用于加工沉积高质量、厚度精确控制的金属薄膜和介质薄膜。

技术指标:

1、3支3英寸磁控溅射靶。2、基片加热器采用高温加热材料,最高温度可达到600℃。3、真空性能:A. 极限真空(Ultimate Pressure):1E-7Torr;B. 真空抽速:30分钟从大气压抽到5E-6Torr;C.真空室漏率:5E-5Torr.L/s。4、镀膜均匀性和重复性:在4英寸衬底厚度均匀性优于±5%,重复性优于±3%。5、样品尺寸:≤6英寸。

仪器品牌: Denton

仪器型号: EXP10YeY-14 

仪器厂家: 美国 

仪器设备所属平台: 厦门大学萨本栋微米纳米科学技术研究院 微电子/石墨烯加工测试平台


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