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SUPRA 55 场发射扫描电子显微镜


仪器名称: SUPRA 55 场发射扫描电子显微镜

仪器类型: 测试设备

应用领域: 适用于各种样品的微观形貌观察和分析,结合EDS能谱仪可进行样品微区成分定性和定量以及元素分布分析。

技术指标:

1、分辨率:0.8nm@15kV,1.6nm@1kV,2.0nm@30kV(VP mode)。2、放大倍数:12~1,000,000×。3、加速电压:0.02 ~30kV。4、探针电流:4pA~20nA(12pA~100nA可选)。5、样品室:Φ330mm×270mm。6、样品台:五轴优中心全自动型,X = 130mm,Y = 130mm,Z = 50mm,T=-3to70°,R=360°连续旋转。7、系统控制:基于Windows的SmartSEM操作系统,可选鼠标、键盘、控制面板控制。

仪器品牌: 蔡司

仪器型号: SUPRA55 

仪器厂家: 蔡司光学仪器公司 

仪器设备所属平台: 厦门大学萨本栋微米纳米科学技术研究院 微电子/石墨烯加工测试平台


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